◆分辨率高,成像质量更好
◆翻开式发叉结构钨丝阴极,更换灯丝方便
◆纯中文操作界面，具有一键成像功能
◆自动调整功能:电子枪加热、偏压、对中、聚焦、亮度、对比度、消像散、像散记忆等
◆自动校正、自动故障检测
◆低维护、维修成本
1. 分辨率: 3nm@30KV （SE）； 6nm@30KV （BSE）
2. 放大倍率: 8～300000 倍
3. 电子枪: 翻开式预对中钨丝阴极
4. 加速电压: 0～30kV连续可调，0-10kV步进量为100V，10kV以上步进量为1kV
5. 具有一键看像功能
6. 透镜系统: 三级高性能锥形透镜系统
7. 物镜光阑：三个可在真空外调节，无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑
8. 真空系统： 1个涡轮分子泵，1个机械泵； 样品室真空优于2.6E-3 Pa ，全自动真空控制，具有真空互锁功能。
9. 探测器标准配置：
（1） 高真空二次电子探测器；
（2） 四分割半导体BSE探测器；
（3） 红外CCD摄像头
10. 样品室提供不少于2个可扩展接口，可接 WDS、EDS、BSE 等多种附件和探测器
11. 样品台配置
五轴样品台，四轴自动：
行程： X=70mm,Y=50mm,Z=45mm，R=360°，T=-5°～+90°（手动）
**样品直径: Ф175mm；**样品高度：35mm；样品台有碰撞报警功能。
12. 图像处理器
Ø **4096×4096像素显示
Ø 图像文件格式：默认格式为BMP，可另存为GIF、JPG、PNG、TIF等格式